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EB-PVD靶材系列

文章發布于:2018-07-23 作者:興弘新材料 瀏覽次數:



典型的化學成分
二氧化鋯 ZrO2 balance
二氧化鉿 HfO2 1.79
氧化釔 Y2O3 7.05
氧化鋁 Al2O3 <0.01
氧化鐵 Fe2O3 <0.01
二氧化硅 SiO2 <0.01
二氧化鈦 TiO2 <0.01
氧化鈣 CaO <0.01

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